臭氧除臭殺菌裝置是用于制取臭氧的設備裝置。臭氧易于分解無法儲存需現場制取現場使用(但是在特殊的情況下是可以進行短暫時間的儲存)，凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發生器。臭氧發生器在自來水，污水，工業氧化，空間滅菌等領域廣泛應用。
臭氧是的廣譜高效殺菌消毒劑。采用空氣或氧氣為原料利用高頻高壓放電產生臭氧。臭氧比氧分子多了一活潑的氧原子臭氧，化學性質特別活潑，是一種強氧化劑，在一定濃度下可迅速殺滅空氣、液體中的細菌。沒有任何有毒殘留，不會形成二次污染，被譽為“最清潔的氧化劑和消毒劑”。
臭氧是一種的消毒劑，對細菌、病菌、真菌、霉菌芽胞、病毒等微生物都具有的殺滅力。由于臭氧為彌漫氣體，消毒全面，故消毒殺菌效果好。
利用氧化性來殺死微生物以達到滅菌效果的化合物還有很多，比如常見的氯氣等。但是，這些殺菌劑不但比臭氧殺菌速度慢，而且一般的殺菌對人體有害。臭氧殺菌與一般殺菌劑不同，因為多余的臭氧可以很快分解成氧氣，故不存在二次污染問題。
臭氧滅菌屬于生物化學氧化反應，臭氧氧化分解了細菌內部氧化葡萄糖所必須的酶;也可直接與細菌、病毒發生作用，破壞其細胞壁和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使細菌的物質代謝生長和繁殖過程遭到破壞;
還可以滲透胞膜組織，侵入細胞膜內作用于外膜脂蛋白和內部的脂多糖，使細胞發生通透性畸變，導致細胞的溶解死亡，并且將死亡菌體內的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱原(細菌病毒代謝產物、內毒素)等溶解變性滅亡。縱觀無菌技術對微生物作用的原理可分為抑菌、殺菌和溶菌三種，應用臭氧作滅菌劑是屬于溶菌。
